621.382.8 К 78 Красников, Г. Я. Физико-технологические основы обеспечения качества СБИС [Text] : [монография] / Г. Я. Красников, Н. А. Зайцев. - М. : Микрон-Принт, 1999 - . Ч. 1. - 216 с. : ил., табл. - Библиогр. в конце гл. - ISBN 5-93497-001-1 (в пер.) : 40-00 р.
Кл.слова (ненормированные): интегральные микросхемы -- СБИС -- УБИС -- качество интегральных микросхем -- кремниевые микросхемы -- электронно-ионные процессы -- системы Si2-SiO2 (ИМС) -- геттерирование (электротехника) -- кремниевые пластины -- стабилизация электрофизических свойств -- осаждение полевых электродов -- алюминиевая металлизация -- пленки алюминиевые -- пленки диоксида кремния Доп.точки доступа: Зайцев, Н. А. Экземпляры всего: 1 КХ (1) Свободны: КХ (1) |