Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 621.382(075)/Р 24 Автор(ы) : Распопов, В. Я. Заглавие : Микромеханические приборы : учеб. пособие для вузов Выходные данные : М.: Машиностроение, 2007 Колич.характеристики :399 с.: табл., схемы, ил. Серия: Для вузов Примечания : Библиогр.: с. 394-396. - Предм. указ.: с. 397-399 ISBN, Цена 5-217-03360-6 (в пер.): 825-00 р. УДК : 621.382(075) + 621.382.002(075) + 531.383(075) + 681.586(075) Предметные рубрики: ЭЛЕКТРОНИКА. РАДИОТЕХНИКА АВТОМАТИКА И ТЕЛЕМЕХАНИКА.ВЫЧИСЛИТЕЛЬНАЯ ТЕХНИКА-- МАТЕРИАЛЫ ДЛЯ ЭЛЕКТРОНИКИ И РАДИОТЕХНИКИ-- ДАТЧИКИ И ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микромеханические приборы--акселерометры--микроакселерометры--датчики давления--гироскопы--микрогироскопы--технология производства--кремний--керамика--технологические основы--измерительные свойства--литография--травление--легирование Экземпляры : всего 3: ОХФ(1), ООНЛ(2) Свободны : ОХФ(1), ООНЛ(2) |