533.9 Р 24 Распыление под действием бомбардировки частицами [Text] / Р. Бериш [et al.] ; ред. В.А. Молчанов. - М. : Мир, 1998 - . Вып. III : Характеристики распыленных частиц, применения в технике. - 552 с. : ил. - Библиогр. в конце гл. - ISBN 5-03-003118-9 (рус.). - ISBN 3-540-53428-8 (англ.) : 30-00 р.
МЕХАНИКА--УСТОЙЧИВОСТЬ И СТАБИЛИЗАЦИЯ ДВИЖЕНИЯ Кл.слова (ненормированные): Распыление -- Напыление -- Плазма -- Бомбардировка ионная -- Микроанализ -- Покрытия -- Микроструктура твердого тела -- Биотехнология -- Ионизация -- Микротопография -- Микросрезы -- Микроэлектроника -- Магнетроны -- Спектрометрия -- Десорбция Доп.точки доступа: Бериш, Р.; Виттмак, К.; Легрейд, Н.; Мак-Кланахан, Э.; Сандквист, Б.; Хауффе, В.; Молчанов, В.А. \ред.\ Экземпляры всего: 1 ОХиИФ (1) Свободны: ОХиИФ (1) |
621.793 Б 49 Берлин, Е. В. Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением [Текст] : научное издание / Е. В. Берлин, Л. А. Сейдман. - Москва : Техносфера, 2014. - 255, [1] с. : ил., табл., схемы. - (Мир материалов и технологий). - Библиогр.: с. 242-255. - ISBN 978-5-94836-369-1 (в пер.) : 568.70 р.
Кл.слова (ненормированные): тонкие пленки -- реактивное магнетронное распыление -- физические процессы -- технологии Доп.точки доступа: Сейдман, Л. А. Экземпляры всего: 2 ОХиИФ (1), ООЛ (1) Свободны: ОХиИФ (1), ООЛ (1) |