621.382(075) Р 24 Распопов, В. Я. Микромеханические приборы [Text] : учеб. пособие для вузов / Распопов, В. Я. - М. : Машиностроение, 2007. - 399 с. : табл., схемы, ил. - (Для вузов). - Библиогр.: с. 394-396. - Предм. указ.: с. 397-399. - ISBN 5-217-03360-6 (в пер.) : 825-00 р.
АВТОМАТИКА И ТЕЛЕМЕХАНИКА.ВЫЧИСЛИТЕЛЬНАЯ ТЕХНИКА--МАТЕРИАЛЫ ДЛЯ ЭЛЕКТРОНИКИ И РАДИОТЕХНИКИ--ДАТЧИКИ И ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ Кл.слова (ненормированные): микромеханические приборы -- акселерометры -- микроакселерометры -- датчики давления -- гироскопы -- микрогироскопы -- технология производства -- кремний -- керамика -- технологические основы -- измерительные свойства -- литография -- травление -- легирование Экземпляры всего: 3 ОХФ (1), ООНЛ (2) Свободны: ОХФ (1), ООНЛ (2) |