537.311.322 Г 37 Герасименко, Н. Н. Кремний-материал наноэлектроники [Text] : учеб. пособие для вузов / Герасименко, Н. Н., Пархоменко, Ю. Н. - М. : Техносфера, 2007. - 351 с. : ил., табл. - (Мир материалов и технологий ; VI-12). - Библиогр. в конце гл. - ISBN 10: 5-94836-1 01-2 (в пер.). - ISBN 13: 978-5-948 36-101-7 : 151-23 р.
ЭЛЕКТРОНИКА. РАДИОТЕХНИКА--ОПТОЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ Кл.слова (ненормированные): кремний -- наноэлектроника -- кремниевая наноэлектроника -- нанофотоника -- Si-Ge наноструктуры -- нанотрубки -- кремниевые трубки -- нанолитография -- наноэлектронные приборы -- молекулярно-лучевая эпитаксия -- осаждение из газовой фазы -- ионный синтез -- зондовая микроскопия Доп.точки доступа: Пархоменко, Ю. Н. Экземпляры всего: 20 КХ (1), ЧЗ¦1 (1), НТА (3), УчАб (15) Свободны: КХ (1), ЧЗ¦1 (1), НТА (3), УчАб (15) |