621.382(075) Р 24 Распопов, В. Я. Микромеханические приборы [Text] : учеб. пособие для вузов / Распопов, В. Я. - М. : Машиностроение, 2007. - 399 с. : табл., схемы, ил. - (Для вузов). - Библиогр.: с. 394-396. - Предм. указ.: с. 397-399. - ISBN 5-217-03360-6 (в пер.) : 825-00 р.
АВТОМАТИКА И ТЕЛЕМЕХАНИКА.ВЫЧИСЛИТЕЛЬНАЯ ТЕХНИКА--МАТЕРИАЛЫ ДЛЯ ЭЛЕКТРОНИКИ И РАДИОТЕХНИКИ--ДАТЧИКИ И ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ Кл.слова (ненормированные): микромеханические приборы -- акселерометры -- микроакселерометры -- датчики давления -- гироскопы -- микрогироскопы -- технология производства -- кремний -- керамика -- технологические основы -- измерительные свойства -- литография -- травление -- легирование Экземпляры всего: 3 ОХФ (1), ООНЛ (2) Свободны: ОХФ (1), ООНЛ (2) |
621.382(075) Ш 65 Шишкин, Г. Г. Наноэлектроника [Текст] : элементы, приборы, устройства : учебное пособие для вузов / Г. Г. Шишкин, И. М. Агеев. - Москва : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2017. - 408 с. : ил., схемы. - (Нанотехнологии). - Библиогр.: с. 404-406. - ISBN 978-5-9963-0638-1 (в пер.) : 314.20 р. Рек. ГОУ ВПО "МГТУ имени Н. Э. Баумана" по направл. 210800 "Нанотехнология", 152200 "Наноинженерия", 210100 "Электроника и наноэлектроника"
Кл.слова (ненормированные): наноэлектроника -- физические основы -- технологические основы -- наноструктуры -- наноструктурированные материалы -- наноматериалы -- наноэлектронные приборы -- нанобиоэлектроника Доп.точки доступа: Агеев, И. М. Экземпляры всего: 1 ОХиИФ (1) Свободны: ОХиИФ (1) |